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  潔淨室空氣潔淨度等級標準


  ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔淨室(區)及相關受控環境中空氣潔淨度的等級,並且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 範圍內呈累積分布的粒子群。


  根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。


  空氣潔淨度分級標準: ISO14644-1 (國際標準)


  空氣潔淨度等級(N)大於或等於所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)


0.1 um0.2 um0.3 um

0.5u

1um5 um
ISO Class 1102



ISO Class 210024104

ISO Class 31000237102358
ISO Class 410002370102035283
ISO Class 51000002370010200352083229
ISO Class 61000000237000102000352008320293
ISO Class 7


352000832002930
ISO Class 8


352000083200029300
ISO Class 9


352000008320000293000

  注:由於涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。


  空氣潔淨度分級標準: GB/T16292-1996 (中國標準)

粒徑、數值潔淨度級別

塵埃最大允許數/立方米

浮遊菌/立方米

≥5um

微生物最大允許數

≥0.5um

沉降菌/皿
100
3500051
1000035000020001003
10000035000002000050010
3000001050000060000-15

  美國聯邦標準 209D 潔淨室分級:(已停用)


空氣潔淨度等級(N)0.1um0.2um0.3um0.5um5um
1
357.531
10350753010
100
750300100
1000


10007
10000


1000070
100000


10000700



  英國 5295 標準潔淨室和空氣淨化裝置分級:


空氣潔淨度等級(N)0.3
0.551025
C100350

D10003500

E1000035000

F
35000

G100000350002000
H
350002000
J
35000020004500
K
3500000200004500500
L

200000450005000
M


45000050000



  各種國際標準的比較:

美國聯邦標準209D美國聯邦標準209E英國標準BS5295澳大利亞標準AS1386法國標準AFNORX44101德國標準VDI2083國際標準14644-1日本標準JACA2
1M1.5C0.035-
11
10M2.5D0.35-022
100M3.5E3.54000133
1000M4.5G35-244
10000M5.5J350400000355
100000M6.5K35004000000466
-
M

577
-



688
-



79


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